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(08.04.11)세미나 초록 - 안형우-
  

제목: 비휘발성 메모리에 사용되는 상변화재료의 Adhesion Test

내용: 현재 상변화 메모리에서 널리 사용되고 있는 GST225와 대체가 가능성이 농후한 Ge-doped SbTe의 adhesion을 비교분석 하였다. 1cm X 1cm 크기의 sample에 5um~30um pattern을 5um 간격으로 배치하고, microfabrication 공정을 통해 spot을 형성하였다. 적절한 load를 가하기위해 기초실험을 하였고, 결정화 상태와 비정질 상태에서 서로다른 상변화재료의 adhesion을 taping test를 통해 비교하였다. annealing 효과를 위해 RTA를 사용하였고, 압력 및 온도를 변수로 adhesion의 변화 추이를 살펴보았다.




작성자
작성일
조회수
    안형우
    2008년 04월 11일 09:24:35
    7106



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